北京航空航天大學(xué)電子信息工程學(xué)院微電子學(xué)與固體電子學(xué)導(dǎo)師介紹：趙超

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導(dǎo)師詳細(xì)信息

姓名：趙超(兼職)

性別：男

出生年份：1962

職稱：研究員

院系：電子信息工程學(xué)院

首次聘任導(dǎo)師時間：2013

現(xiàn)聘任導(dǎo)師一級學(xué)科名稱：電子科學(xué)與技術(shù)

現(xiàn)聘任導(dǎo)師二級學(xué)科名稱：微電子學(xué)與固體電子學(xué)

聘任在第二學(xué)科培養(yǎng)博士生專業(yè)名稱：無

聘任在自主設(shè)置學(xué)科培養(yǎng)博士生專業(yè)名稱：無

主要研究方向及特色：集成電路先導(dǎo)工藝

電子信箱：zhaochao@ime.ac.cn

辦公電話：010-82995742

辦公地點：北京北土城西路3號中科院微電子所

通信地址：北京北土城西路3號

個人簡介：

趙超博士現(xiàn)擔(dān)任中國科學(xué)院微電子所研究員，集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心主任，為中組部****引進(jìn)的科技領(lǐng)軍人才。他出生于1962年3月。1978年10月至1982年7月在南京大學(xué)物理系學(xué)習(xí)，于1982年獲學(xué)士學(xué)位.1988年8月，在哈爾濱工業(yè)大學(xué)獲工學(xué)碩士學(xué)位，1999年12月在比利時魯汶大學(xué)（Katholieke Universiteit Leuven）獲博士學(xué)位.2000年1月至2010年3月，趙超在歐洲微電子研發(fā)中心（IMEC）任資深科學(xué)家（SENIORSCIENTIST）。其間，參加IMEC組織的具有重大國際影響力的集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)工業(yè)聯(lián)盟項目，從事集成電路先導(dǎo)工藝的研發(fā)。在高K/金屬柵（High-K/metalgate），銅互連（Cu-Interconnection），銅接觸（Cu-Contacts），三維穿硅通孔封裝（3D-TSV）等領(lǐng)域里做出過重要工作。在包括8英寸和12英寸集成電路生產(chǎn)線上的前道工藝和后道工藝的研發(fā)方面擁有豐富的工作經(jīng)驗。他先后在國際學(xué)術(shù)期刊和會議上發(fā)表科研論文130多篇，總體引用率超過1000次。此外，完成發(fā)明專利申請80項，其中已獲美國歐洲專利授權(quán)5項。