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華中科技大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院研究生導(dǎo)師陳修國(guó)介紹如下:
姓名:陳修國(guó)
電話:027-87558045
職稱:講師
郵箱:xiuguochen@hust.edu.cn
個(gè)人基本情況
陳修國(guó)(Chen Xiuguo, Lecturer),男,博士。2013年6月博士畢業(yè)于華中科技大學(xué)機(jī)械電子工程專業(yè),同年進(jìn)入華中科技大學(xué)材料學(xué)院博士后流動(dòng)站,2016年6月出站,留校工作。
主要從事微納光學(xué)測(cè)量技術(shù)與儀器方面的研究工作。在Applied Physics Letters、Optics Express、Journal of Applied Physics、Review of Scientific Instruments等國(guó)際著名期刊發(fā)表SCI論文20余篇;申請(qǐng)國(guó)際國(guó)內(nèi)發(fā)明專利10余項(xiàng),其中授權(quán)專利9項(xiàng)。
曾獲山東省優(yōu)秀畢業(yè)生、華中科技大學(xué)優(yōu)秀畢業(yè)研究生、華中科技大學(xué)優(yōu)秀博士后、第四屆上銀優(yōu)秀機(jī)械博士論文佳作獎(jiǎng)、機(jī)械學(xué)院“優(yōu)秀博士后獎(jiǎng)勵(lì)計(jì)劃”、第43屆日內(nèi)瓦國(guó)際發(fā)明金獎(jiǎng)(排名3)等榮譽(yù)。
目前,主持有國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金項(xiàng)目1項(xiàng)、中國(guó)博士后科學(xué)基金面上項(xiàng)目一等資助和特別資助項(xiàng)目各1項(xiàng)。作為項(xiàng)目骨干,先后參入了國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)、國(guó)家自然科學(xué)基金重大研究計(jì)劃培育項(xiàng)目等5項(xiàng)。
主要研究方向
微納光學(xué)測(cè)量技術(shù)與儀器
開設(shè)課程
1. 數(shù)字電路
2. 光譜橢偏測(cè)量概論
近年的科研項(xiàng)目、專著與論文、專利、獲獎(jiǎng)承擔(dān)的科研項(xiàng)目:
[1] 國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金項(xiàng)目,納米結(jié)構(gòu)廣義成像橢偏儀橢偏測(cè)量理論與方法研究,51405172,2015/01–2017/12
[2] 中國(guó)博士后科學(xué)基金特別資助項(xiàng)目,基于離焦掃描廣義成像橢偏儀的三維納米結(jié)構(gòu)測(cè)量方法,2015T80791,2015/04–2016/09
[3] 中國(guó)博士后科學(xué)基金面上項(xiàng)目 (一等資助),基于廣義成像橢偏儀的納米結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)測(cè)量方法研究,2014M560607,2014/07–2015/07
代表性著作:
[1]X. G.Chen, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Depolarization effects from nanoimprintedgrating structures as measured by Mueller matrix polarimetry,” Applied PhysicsLetters 105(15), 151605, 2013
[2]X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, and H. Jiang, “Improved measurement accuracy inoptical scatterometry using correction-based library search,” Applied Optics52(27), 6727-6734, 2013
[3]X. G.Chen, S. Y. Liu, C. W. Zhang, H. Jiang, Z. C. Ma, T. Y. Sun, and Z. M. Xu,“Accurate characterization of nanoimprinted resist patterns using Muellermatrix ellipsometry,” Optics Express 22(12), 15165-15177, 2014
[4]X. G.Chen, C. W. Zhang, S. Y. Liu, H. Jiang, Z. C. Ma, and Z. M. Xu, “Mueller matrixellipsometric detection of profile asymmetry in nanoimprinted gratingstructures,” Journal of Applied Physics 116(19), 194305, 2014
[5]X. G.Chen, S. Y. Liu, H. G. Gu, and C. W. Zhang, “Formulation of error propagationand estimation in grating reconstruction by a dual-rotating compensator Muellermatrix polarimeter,” Thin Solid Films 571, 653-659, 2014
[6]X. G.Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu, “Towards understanding thedetection of profile asymmetry from Mueller matrix differential decomposition,”Journal of Applied Physics 118(22), 225308, 2015
[7]X. G.Chen, W. C. Du, K. Yuan, J. Chen, H. Jiang, C. W. Zhang, and S. Y. Liu,“Development of a spectroscopic Mueller matrix imaging ellipsometer fornanostructure metrology,” Review of Scientific Instruments 87(5), 053707, 2016
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