華中科技大學(xué)碩士研究生專業(yè)介紹：精微制造工程

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精微制造工程

該專業(yè)是博士學(xué)位和碩士學(xué)位授予點(diǎn)。本專業(yè)畢業(yè)研究生具有嚴(yán)謹(jǐn)求實(shí)的科學(xué)態(tài)度和作風(fēng)，具有創(chuàng)新求實(shí)精神和良好的科研道德，立足現(xiàn)代制造技術(shù)的最新進(jìn)展，結(jié)合多學(xué)科專門知識(shí)，培養(yǎng)學(xué)生具備微/納系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)量與精密裝備領(lǐng)域的學(xué)科的科學(xué)研究能力。滿足我國(guó)在精、微電子制造領(lǐng)域的教學(xué)、科研和工程技術(shù)工作以及相關(guān)的科技管理工作等方面高層次人才緊缺的需要。

碩士學(xué)位主要研究方向：

微/納器件，系統(tǒng)設(shè)計(jì)與工藝模擬、微制造與納米加工技術(shù)、微納系統(tǒng)封裝技術(shù)、微/納米尺度測(cè)試技術(shù)、微/納機(jī)電系統(tǒng)工藝裝備。

碩士主要學(xué)位課程：

微系統(tǒng)設(shè)計(jì)與仿真、微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)、微系統(tǒng)封裝技術(shù)、精微制造技術(shù)、掃描探針顯微術(shù)、材料力學(xué)行為及計(jì)算仿真、薄膜技術(shù)等。

碩士主要選修課程：

微機(jī)原理與接口技術(shù)、制造過程工藝力學(xué)模擬、微機(jī)電系統(tǒng)測(cè)試與可靠性等。