北京航空航天大學

導師詳細信息

姓名：趙超(兼職)

性別：男

出生年份：1962

職稱：研究員

院系：電子信息工程學院

首次聘任導師時間：2013

現聘任導師一級學科名稱：電子科學與技術

現聘任導師二級學科名稱：微電子學與固體電子學

聘任在第二學科培養博士生專業名稱：無

聘任在自主設置學科培養博士生專業名稱：無

主要研究方向及特色：集成電路先導工藝

電子信箱：zhaochao@ime.ac.cn

辦公電話：010-82995742

辦公地點：北京北土城西路3號中科院微電子所

通信地址：北京北土城西路3號

個人簡介：

趙超博士現擔任中國科學院微電子所研究員，集成電路先導工藝研發中心主任，為中組部****引進的科技領軍人才。他出生于1962年3月。1978年10月至1982年7月在南京大學物理系學習，于1982年獲學士學位.1988年8月，在哈爾濱工業大學獲工學碩士學位，1999年12月在比利時魯汶大學（Katholieke Universiteit Leuven）獲博士學位.2000年1月至2010年3月，趙超在歐洲微電子研發中心（IMEC）任資深科學家（SENIORSCIENTIST）。其間，參加IMEC組織的具有重大國際影響力的集成電路先導工藝研發工業聯盟項目，從事集成電路先導工藝的研發。在高K/金屬柵（High-K/metalgate），銅互連（Cu-Interconnection），銅接觸（Cu-Contacts），三維穿硅通孔封裝（3D-TSV）等領域里做出過重要工作。在包括8英寸和12英寸集成電路生產線上的前道工藝和后道工藝的研發方面擁有豐富的工作經驗。他先后在國際學術期刊和會議上發表科研論文130多篇，總體引用率超過1000次。此外，完成發明專利申請80項，其中已獲美國歐洲專利授權5項。